Eigenschaften der für die Mikrozahnräder verwendeten Nickel-Eisen-Legierung
Zugfestigkeit |
Rm |
1800 N/mm² |
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E-Modul |
E |
140 000 N/mm² |
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Härte |
600 HV |
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Streckgrenze |
RP0,2 |
1550 N/mm² |
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Legierungszusammensetzung |
5 - 30 % Eisenanteil |
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Magnetische Eigenschaft |
Weichmagnetisch |
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Rauheit |
100 nm |
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Aspektverhältnis |
200 : 1 |
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Fertigungstoleranz |
1 µm |
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Weitere typische Prozessmöglichkeiten
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Materialien |
Gold, Silber, Platin, Nickel, hochfeste und unmagnetische Nickellegierungen |
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Beschichtungen |
Hartstoffschichten, MoS2, WS2, Gold, Silber, Platin, Palladium, Rhodium |
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Bauteilhöhen |
0.05 mm - 1.2 mm |
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Kleinste Strukturdetails |
< 1 µm |
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